●性能穩定，誤殺率0，過殺率0.5%
●具有循環檢功能，可判斷出泄露工件
●可按工藝要求設定漏率、檢測時間、檢測壓力、報警值等操作參數
●自動清氦功能，快速有效地消除箱體內及管道上的殘余氦氣
● 單機產能：≥12PPM ● 一次優率：≥99.5% ● 抽真空時間：≤20s ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 氦檢時間：≤5s ● 最小可檢漏率：≤10-12Pa·m3/s ● 漏率顯示范圍：≥1.0×10-12Pa·m3/s-1.0×10-3Pa·m3/s ● 檢測腔體密封性：≤50Pa/min
● 機械手自動上下料機構 ● 真空箱式氦質譜氣密性檢測 ● NG緩存及復檢功能
● 氣體濃度
